Не один десяток химических газов и соединений используется в микроэлектронном производстве. Конечно, технологические процессы разные и соответственно в каждом из них используется свой набор химии и газов, неизменным остается только один фактор, они используются в больших количествах и постоянно. К сожалению, эти вещества по большей части агрессивны и токсичны, и поэтому, ни в ком случае нельзя выбрасывать их в атмосферу после полной отработки.
Такой вопрос, как очистка отработанного воздуха становится инженерной задачей, которая, конечно, требует специфического оборудования и достаточно специфических решений.
Такой задачей занимаются достаточно много организаций, поэтому, более подробно вы можете узнать об этом пройдя по ссылке http://tronic-cleanrooms.ru/.
Очистку воздуха можно разделить на несколько подсистем с учетом современного микроэлектронного вопроса производства:
1. Органическая вытяжка.
2. Общеобменная вытяжка.
3. Щелочная вытяжка.
4. Кислотная вытяжка.
Что значит органическая вытяжка , это одна из систем очистки воздуха, в которой содержатся пары органических растворителей, они исходят от оборудования, которое использует в своем процессе технологические газы.
Вытяжка общеобменная, это так же, одна из систем удаление воздуха, которая должна обеспечивать нормируемую кратность воздуха обмена на вспомогательных и чистых помещениях, как же она занимается удалением теплоизбытков от работающего оборудования.
Вытяжка щелочная, система очистки воздуха, которая содержит пары щёлочи.
Кислотная вытяжка, это так же, определенная система очистки, которая чистит воздух с содержанием кислот, пары кислот исходит из инженерного и технологического оборудования, например, они могут идти от печей нанесение пленок, при этом используются в процессе кислоты: соляная, плавиковая, серная и так далее.
Актуальная информация диф автомат abb 16а здесь.